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Ventana de zafiro resistente a los arañazos Mohs 9 Equipo de semiconductores Vista

Calidad Ventana de zafiro resistente a los arañazos Mohs 9 Equipo de semiconductores Vista Fábrica
Especificación de producto
Lugar de origen: Cantón, China
Nombre de la Marca: ECER Optics
Certificación: ISO 9001:2015
Número de modelo: SW-SEM-DURO
Cantidad mínima de pedido: 10 piezas
Precio: USD 8-50 / Piece
Condiciones de pago: T/T, PayPal, Western Union
Capacidad de suministro: 30000 piezas por mes
Detalles del producto
Resaltar:

Ventana de zafiro resistente a los arañazos

,

Ventana del equipo de semiconductores

,

Optica de dureza de Mohs 9
Product Name: Ventana de zafiro resistente a los arañazos
Application: Procesamiento de obleas de semiconductores
Hardness: Mohs 9
Material: Zafiro monocristalino Al2O3
Diameter: Personalizado 10 mm - 200 mm
Chemical Resistance: Resistente a ácidos, bases y plasma
Surface Quality: 60-40 Excavación por rasguño
Flatness: Lambda/4
Descripción del Producto
Ventana de zafiro resistente a arañazos para equipos semiconductores
Esta ventana de zafiro resistente a arañazos está diseñada para visores de equipos semiconductores, donde las cámaras de proceso exponen las ventanas a plasma, abrasión de partículas y productos químicos de limpieza agresivos. La ventana está fabricada de zafiro monocristalino con una dureza Mohs de 9, solo superada por el diamante, lo que le permite mantener una superficie óptica limpia durante mucho más tiempo que los visores de vidrio o cuarzo.
Para herramientas de procesamiento de obleas que funcionan continuamente, la ventana de zafiro resistente a arañazos reduce el tiempo de inactividad de mantenimiento y mantiene la consistencia de las imágenes de inspección durante la vida útil de la cámara. Los entornos semiconductores exigen más que dureza, por lo que esta ventana de zafiro también se especifica por su resistencia química a ácidos, bases y químicas de plasma, además de estabilidad térmica en los cambios de temperatura del ciclo de proceso.
Cada ventana se pule a una calidad de superficie de 60-40 arañazos-picaduras con una planitud de lambda sobre 4, y los perfiles de los bordes se rectifican y biselan para evitar concentraciones de tensión en la brida de montaje. Se encuentran disponibles diámetros personalizados de 10 mm a 200 mm y espesores adaptados a clasificaciones de presión de vacío o atmosférica, y cada envío incluye certificados de material e informes de inspección dimensional para la calificación del equipo.
Especificaciones Técnicas
Nombre del Producto Ventana de Zafiro Resistente a Arañazos
Material Zafiro Monocristalino Al2O3
Dureza Mohs 9
Diámetro Personalizado 10 mm - 200 mm
Espesor 1.0 mm - 8.0 mm Personalizado
Calidad de Superficie 60-40 Arañazos-Picaduras
Planitud Lambda/4 @ 632.8nm
Resistencia Química Resistente a Ácidos, Bases y Plasma
Aplicación Procesamiento de Obleas de Semiconductores
Certificado Cumple con RoHS, ISO 9001:2015
Ventajas Clave
  • La dureza Mohs 9 resiste arañazos inducidos por partículas y plasma
  • La inercia química sobrevive a las agresivas químicas de limpieza de la cámara
  • La estabilidad térmica soporta el ciclo de temperatura del proceso sin fractura
  • Los bordes rectificados biselados reducen la concentración de tensión en la brida de montaje
  • La larga vida útil reduce la frecuencia de reemplazo del visor y el tiempo de inactividad
  • Los certificados de material respaldan la calificación de equipos semiconductores
  • Los tamaños personalizados se adaptan a visores de procesos de vacío y atmosféricos
  • Claridad óptica consistente para la inspección de obleas a través de la ventana
La ventana de zafiro resistente a arañazos está diseñada en torno a las condiciones operativas reales de fabricación de semiconductores: aperturas repetidas de la cámara, limpiezas con plasma y flujos de partículas abrasivas. Los datos de campo de los programas de servicio de equipos muestran que los visores de zafiro suelen durar varias veces más que el cuarzo en herramientas de grabado y deposición, lo que reduce directamente el costo de propiedad para los operadores de fábricas.
La ventana también es adecuada para industrias adyacentes que comparten el mismo perfil de entorno hostil, incluido el procesamiento de pantallas planas, la fabricación de células solares y los sistemas de recubrimiento al vacío. Los ingenieros de diseño reciben orientación de montaje, incluidas las tolerancias de brida y los materiales de sellado recomendados, para que la ventana de zafiro resistente a arañazos se integre en los diseños de visores existentes sin necesidad de rehacer.
Preguntas Frecuentes del Producto
P: ¿Por qué los visores de semiconductores necesitan zafiro en lugar de cuarzo?
Las cámaras de proceso generan plasma, partículas y químicas reactivas que graban y rayan rápidamente los visores de cuarzo, enturbiando la ruta óptica. El zafiro con dureza Mohs 9 resiste este daño durante ciclos mucho más largos, y su inercia química evita la degradación por los agentes de limpieza. El resultado son menos cambios de visor y condiciones de inspección más estables.
P: ¿Qué clasificaciones de presión puede soportar la ventana?
La clasificación de presión depende del diámetro, el espesor y el diseño de montaje. Para visores típicos de 25 mm a 100 mm, los espesores de 2 mm a 8 mm soportan vacío hasta varias barras de presión diferencial. Proporcionamos cálculos de espesor recomendados para sus condiciones de cámara específicas.
P: ¿Se puede recubrir la ventana para antirreflejo en el rango visible?
Sí. Si bien muchos visores de semiconductores utilizan zafiro sin recubrimiento para una máxima robustez, podemos aplicar un recubrimiento antirreflejo duradero para longitudes de onda de inspección visibles cuando se necesita una mayor transmisión. El recubrimiento se valida para exposición a plasma y química antes de su liberación.
P: ¿Qué documentación se proporciona para la calificación del equipo?
Cada envío incluye certificados de material de zafiro, informes de inspección dimensional, registros de calidad de superficie y declaraciones RoHS. Para programas calificados, también podemos proporcionar datos de pruebas de resistencia química a nivel de lote y resultados de ciclos térmicos.
Etiquetas:

Lente de cúpula de zafiro óptico de sílice

Lente para cámara de imágenes térmicas infrarrojas
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